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美国Hysitron纳米力学系统在超薄薄膜领域的应用

发布时间:2016-07-22 14:47:52  浏览量:680
      本文主要介绍TiN超薄薄膜材料相关的纳米力学行为表征方法,如纳米压痕、纳米划痕、纳米磨损以及原位扫描成像等。

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