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韩国SEC SNE-3000MS基本型台式扫描电镜

发布时间:2017-02-10 15:49:59  浏览量:430

  SNE-3000MS型台式扫描电镜是韩国SEC公司研制的基本型Mini-SEM,非常适合于主要用SEM在1万倍放大倍率下进行表面观察的用户。其分辨率为15nm,最高放大倍数为6万倍;可通过U.I界面中鼠标控制简单、方便地操作3轴载台移动;能使用多种扫描模式与测试工具获得多种分析结果


技术参数:


 

 

 

电子光学系统

分辨率

15nm30kV, 二次电子成像)

放大倍率

20x~60,000x

加速电压

1~30kV (1/5/10/15/20/30)

探测器

二次电子探测器(SE

电子枪

预对中钨灯丝

载台系统

载台运动

3轴系统 (X, Y, R)

X, Y-: 40mm / R-: 360°

* 影像偏移 : ±150μm

* Tilt- : 0~45°(选配)

最大样品尺寸

70mm(Φ)*30mmH

 

成像系统

自动功能

自动启动,自动聚焦,自动消像散,自动调节对比度与亮度

图像格式

BMP, JPEG, PNG, TIFF

真空系统

真空模式

高真空

真空泵

旋转式机械泵/涡轮式分子泵(全自动)

 

尺寸与重量

主机

390(W)x380(D)x560(H)mm, 83kg

控制单元

390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg

旋转泵

400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg