关于半导体制造
半导体制造过程中,如果遭到污染,很容易造成晶片内电路功能的损坏,因此清洗工艺贯穿整个制造过程。电子级异丙醇(EIPA)是一款优秀的清洗剂,在高科技高精度要求的产业(如:芯片、液晶、磁头)精密电子元器件的超净清洗制程中起到了非常关键的作用。
EIPA纯度要求越来越高
电子工业配套的精细化工材料具有品种多、质量高、用量小、纯度要求苛刻等特点,对电子产品的性能影响巨大。
近年来半导体市场需求快速增长,国内半导体企业蓬勃发展,为保持产品性能稳定,对作为清洁剂使用的EIPA纯度要求也越来越高,每一批次都要经过几轮入厂质检才能投入使用。
超高纯度的清洗剂是高品质半导体产品的基础保障。目前全球范围内EIPA行业领先的企业,能把长碳链杂质做到ppb级别(10的负9次方,相当纳克级);金属元素杂质做到ppt级别(10的负12次方,相当皮克级)。为了保持精细化工原料的纯度要求,不管是原料制造商还是下游用户入厂质检都有严格的品控规范,要求避免任何可能存在污染的环节。
如何借助技术满足EIPA纯度要求?
使用Genevac Rocket离心浓缩仪对大体积EIPA进行浓缩,用以放大样品内的杂质信号,搭配SG套装,避免二次转移,直接将浓缩后的微量样品收集到GC进样小瓶中,使得后续进入分析设备可以检测出更准确的数据。
英国 Genevac Rocket蒸发系统可多位处理,自动平行的处理大体积的溶剂蒸发。
● 一次能蒸发6×450ml 溶剂,最大可处理5L;
● 加热速度快,效率高;
● 采用Dri-pure技术防爆沸,防止交叉污染;
● 能将样品直接定量浓缩到GC小瓶中,蒸发停止后,可以直接将GC瓶取出,样品无需进行二次转移。
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Genevac
英国Genevac是德祥集团资深合作伙伴之一。英国Genevac公司成立于1990年,隶属SP Scientific旗下,一直专注于研究和生产各种离心蒸发浓缩设备,其产品广泛应用于生命科学、制药、化学、分析等领域。
德祥科技
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